高效照明表面检测系统

摘要

本发明公开了一种高效照明表面检测系统，其分立式光源如LED组所发射的光由一个圆柱面透镜和一个球面透镜聚焦成两束相互垂直的光，用于表面照明，第一束光投射到样本表面以改善照明效率，另一束光投射到成像透镜的光阑以改善照明均匀性。另外，优化LED集成块的设计，使之与成像探测器的长宽比匹配，并将若干个波长不同的LED相组合，以便改善检测灵敏度，通过样本和光学系统的相对运动来实现对样本的整个表面的检测。

主权项

1.一种高效照明表面检测系统，其特征在于包括：一个线阵扫描传感器；一个成像透镜；一个照明光源，包括一系列光源，其光线通过至少两个透镜后用于照明被检测基板，其中，两个透镜包括：一个圆柱面透镜和一个球面透镜，将照明光源的光线聚焦成二条影像线，第一条影像线投射到基板样本表面，第二条影像线沿垂直方向投射到上述成像透镜的光阑上，使线阵扫描传感器的视场取得光强度和角度的均匀性，样本表面的像通过上述成像透镜聚焦于线阵扫描传感器上。