用于基板传输的系统和方法

摘要

本发明公开了一种基板处理系统以及用于处理基板的方法。通过逐渐地减少被传送的基板的数量来完成将基板引入真空环境，同时改进干净且抽空的环境。盒体被保持在干净的大气环境下并且不进入真空环境。多个真空锁线性地交错，以逐渐地引入较高级别的真空环境。通过该布置传输的基板的数量是存在于每个盒体中的基板数量的一部分。交错真空锁通向一系列的处理室，其中，更小数量的基板，例如，一个或两个基板被传输。

主权项

1.一种基板处理系统，包括：前端模块，具有用于传输盒体的轨道，每个盒体中容纳有第一预定数量的基板；交错真空锁模块，与所述前端模块相结合，并且具有用于传送传输载体的轨道，每个传输载体均能够支撑第二预定数量的基板，所述第二预定数量小于所述第一预定数量；多个处理室，与所述真空锁模块相结合，且具有用于传送处理载体的轨道，每个处理载体均能够支撑第三预定数量的基板，所述第三预定数量小于所述第二预定数量。