搬运装置

摘要

本发明提供一种搬运装置，在搬运基板的搬运工序中，可容易地在高度不同的基板处理装置及搬运装置之间移载基板，并且将移载后的基板整合为适于下一工序的姿势。本发明的搬运装置(1)包括多个辊子；具备上述辊子且具有以既定间隔并列设置的多根轨道部并且水平地搬运矩形基板(N)的辊式输送部(10)；使辊式输送部(10)在铅直方向上移动的铅直移动机构部(3)；以及一对整合部(30)，它们配置于基板(N)对置的端部侧，在辊式运输部(10)上通过推动基板(N)的端部来整合基板(N)的姿势，其中，铅直移动机构部(3)配置于辊式输送部(10)的一端侧，而辊式输送部(10)的另一端侧为自由端。

主权项

1.一种搬运装置，其特征在于，该搬运装置包括：多个辊子；辊式输送部，该辊式输送部具备上述辊子并具有以既定间隔并列设置的多根轨道部，该辊式输送部用于水平地搬运矩形基板；铅直移动机构部，该铅直移动机构部用于使上述辊式输送部在铅直方向上移动；以及一对整合部，该整合部配置于上述基板的对置的端部侧，在上述辊式输送部上通过推动上述基板的端部来整合上述基板的姿势，其中，上述铅直移动机构部配置于上述辊式输送部的一端侧，而上述辊式输送部的另一端侧为自由端，上述整合部包括：抵接于上述基板的多个整合辊子；在直线上具备该多个整合辊子的保持部；使该保持部在水平面内旋转的旋转轴部；驱动该旋转轴部的驱动装置；检测上述旋转轴部的旋转角度的角度检测装置；根据该角度检测装置所检测到的角度来控制上述驱动装置的驱动控制装置；支承上述旋转轴部的支承台；以及使上述支承台在上述辊式输送部的宽度方向上移动的滑动机构部。