催化剂增强的化学汽相淀积设备及利用该设备的淀积方法

摘要

本发明公开了一种催化剂增强的化学汽相淀积(CECVD)设备和淀积方法，其中为防止催化剂丝因热变形导致松垂而向催化剂丝施加张力，并且为防止产生异物而使用辅助气体。该CECVD设备可构造为具有：处理腔、将处理气体导入处理腔的喷头、和提供在处理腔中并分解从喷头导入的处理气体的可拉伸的催化剂丝结构，由催化剂丝结构分解的的气体淀积于基片上，从而使张力施加到催化剂丝以便防止催化剂丝因热变形导致松垂，且使用辅助气体从而防止产生异物，因此消除了基片温度不均匀的发生和膜生长不均匀的发生，并随之提高了催化剂丝的耐久性。

主权项

1、一种催化剂增强的化学汽相淀积设备，包括：处理腔；喷头，其将处理气体导入处理腔；以及可拉伸的催化剂丝结构，其提供在处理腔中并分解从喷头导入的处理气体，其中，由催化剂丝结构分解的气体淀积于基片上；其中所述催化剂丝结构包括：催化剂丝；多个张紧装置，它们连接到催化剂丝并向催化剂丝施加张力；框架，其支撑张紧装置；以及供电单元，其向催化剂丝供应电能；其中所述张紧装置包括：由该框架支撑的主体；活塞，其往复地容纳于主体中且其远端连接到催化剂丝；以及弹性件，其由主体固定并向活塞施加张力；其中所述活塞进一步包括穿过活塞和活塞杆的轴向延伸的供气线路。