光束照射装置

摘要

来自半导体激光器(100)的激光，入射到由透镜执行元件(300)支撑的照射透镜。已通过照射透镜的激光，根据透镜执行元件(300)的驱动，在Y-Z平面方向上其出射角度变化。由此，实施在目标领域中的激光的扫描。已通过照射透镜的激光，通过光束分离器(400)其一部分被反射而被分离。分离的光，通过聚光透镜(500)在PSD(600)上被聚焦。DSP控制电路(10)，以来自PSD600的信号为基准，将已通过照射透镜的激光的扫描位置进行监视。因此，在照射位置从扫描轨道偏离时，控制执行元件驱动电路(40)，将照射位置牵引到扫描轨道。根据该光束照射装置，在简单朴素的构成下、能实现顺利且稳定的扫描动作。

主权项

1、一种光束照射装置，其中具有：光源，其将激光出射；透镜，其将从该光源出射的激光朝目标区域照射；变位机构，其使所述透镜至少朝垂直于所述激光的光轴的方向变位；扫描机构，其驱动所述变位机构而使所述激光在所述目标区域内扫描；分离机构，其将已通过所述透镜的激光的一部分进行分离；检测机构，其将通过分离机构分离的激光进行受光的同时检测出在受光面上的所述分离的激光的受光位置；修正机构，其在使所述激光沿期望的扫描轨道扫描时，保持在所述受光面上呈现的所述分离的激光的受光位置的移动轨迹作为基准移动轨迹，将该基准移动轨迹和由所述检测机构实际上检测出的所述分离的激光的受光位置进行比较，以使该检测出的受光位置靠近所述基准移动轨迹的方向，来修正激光的扫描位置；和功率调整机构，其将所述扫描期间中的所述激光的出射功率作为第1强度进行设定的同时，在由所述检测机构检测出的受光位置达到与所述目标区域内的特定位置对应的位置时，使所述激光的出射功率变化到与所述第1强度相异的强度。