溅镀装置

摘要

一种溅镀装置，包括治具及至少一模仁，治具包括至少一具有台阶面的沉孔及一表面，至少一模仁为一轴并具有待镀膜的端面，至少一模仁为阶梯状的轴，其远离该端面的一端形成一台阶面，该治具的高度与该至少一模仁的高度相等。至少一模仁经至少一沉孔可分离地装入治具中后，至少一模仁的端面与治具的表面平齐，至少一模仁的台阶面被与其对应的沉孔内的台阶面止挡。采用该溅镀装置后可使模仁端面镀膜均匀。

主权项

1.一种溅镀装置，包括一治具及至少一模仁，该至少一模仁为一轴，具有一待镀膜的端面，其特征在于：该治具包括至少一具有台阶面的沉孔及一表面，该至少一模仁为阶梯状的轴，其远离该端面的一端形成一台阶面，该治具的高度与该至少一模仁的高度相等，该至少一模仁经该至少一沉孔可分离地装入治具中时，该至少一模仁的端面与该治具的表面平齐，该至少一模仁的台阶面被与其对应的沉孔内的台阶面止挡。