发明名称 METHOD FOR SOI DEVICE WITH REDUCED JUNCTION CAPACITANCE
摘要
申请公布号 EP1393381(B1) 申请公布日期 2010.01.20
申请号 EP20020727738 申请日期 2002.05.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 FURUKAWA, TOSHISHARU
分类号 H01L29/786;H01L21/336 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
地址