COOLING AIR FLOW CONTROL VALVE FOR BURN-IN SYSTEM,申请号KR20040092411-传众专利搜索

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发明名称	COOLING AIR FLOW CONTROL VALVE FOR BURN-IN SYSTEM
摘要
申请公布号	KR100937728(B1)	申请公布日期	2010.01.20
申请号	KR20040092411	申请日期	2004.11.12
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;H01L21/02;G01R31/28	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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