基板的处理装置

摘要

本发明提供一种处理装置，可容易进行设有输送基板的驱动辊的驱动轴的组装。处理装置具有：处理腔(12)；多个支承辊(14)，可旋转，沿基板的输送方向及与输送方向交叉的上下方向设置在处理腔中，并支承基板的倾斜方向的下侧的面；多个驱动辊(17)，沿基板的输送方向以规定间隔设置，支承以规定角度倾斜的基板的下端；驱动机构(18)，对驱动辊进行旋转驱动并将支承在支承辊上的基板向规定方向输送，驱动机构包括：基座部件，安装在处理腔；多个驱动轴，以规定间隔可旋转地支承在基座部件上，并在向处理腔内突出的前端可装卸地设有驱动辊；及动力传递部件，设置在驱动轴的位于处理腔的外部的后端，将来自驱动源的动力传递到驱动轴使驱动轴旋转。

主权项

1.一种基板的处理装置，使基板以规定的角度倾斜输送并进行处理，其特征在于，具有：处理腔；多个支承辊，可旋转，沿上述基板的输送方向及与输送方向交叉的上下方向设置在该处理腔中，并支承上述基板的倾斜方向的下侧的面；多个驱动辊，沿上述基板的输送方向以规定间隔设置，支承以规定角度倾斜的上述基板的下端；驱动机构，对上述驱动辊进行旋转驱动并将支承在上述支承辊上的上述基板向规定方向输送，上述驱动机构包括：基座部件，安装在上述处理腔的下端部外面；多个驱动轴，以规定间隔可旋转地被支承在该基座部件上，并在向上述处理腔内突出的前端可装卸地设有上述驱动辊；及动力传递部件，设置在该驱动轴的位于上述处理腔的外部的后端，将来自驱动源的动力传递到上述驱动轴使该驱动轴旋转。