| 摘要 |
1. Способ изготовления труб из кварцевого стекла, включающий операции газофазного осаждения частиц SiO2 на горизонтально расположенную вращающуюся углеграфитовую трубку и кварцевые трубки, в которые она вставлена, удаления углеграфитовой трубки сжиганием в кислородосодержащей атмосфере и спекания пористой трубчатой заготовки, отличающийся тем, что в процессе осаждения частиц SiO2 углеграфитовую трубку охлаждают продувкой ее внутреннего канала воздушным потоком, а процесс спекания пористой заготовки осуществляют в атмосфере, содержащей фторирующие газообразные реагенты, предпочтительно SF6 или SiF4. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что операцию спекания проводят в два этапа, где на первом этапе оплавляют наружную поверхность пористой заготовки при охлаждении углеграфитовой трубки продувкой ее внутреннего канала воздушным потоком, а на втором этапе проводят окончательное спекание при введении в углеграфитовую трубку смеси фторирующего газа с кислородом. |
