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发明名称
FABRICATING METHOD OF MICROSTRUCURE USING LIGA PROCESS
摘要
申请公布号
KR100937203(B1)
申请公布日期
2010.01.19
申请号
KR20080007184
申请日期
2008.01.23
申请人
发明人
分类号
G03F7/20;G02B27/18
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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