发明名称 Method of creating vertical insulation layers in silicone semiconductor structures
摘要
申请公布号 PL385684(A1) 申请公布日期 2010.01.18
申请号 PL20080385684 申请日期 2008.07.17
申请人 POLITECHNIKA LUBELSKA 发明人 &ZDOT,UKOWSKI PAWE&LSTROK,;W&EOGON,GIEREK PAWE&LSTROK,;KOWALSKI MARCIN
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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