VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SPUTTERBESCHICHTETEN SUBSTRATEN, MAGNETRONQUELLE UND SPUTTERKAMMER MIT EINER SOLCHEN QUELLE,申请号AT20050700302T-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SPUTTERBESCHICHTETEN SUBSTRATEN, MAGNETRONQUELLE UND SPUTTERKAMMER MIT EINER SOLCHEN QUELLE
摘要
申请公布号	AT453207(T)	申请公布日期	2010.01.15
申请号	AT20050700302T	申请日期	2005.01.06
申请人	OC OERLIKON BALZERS AG	发明人	KADLEC, STANISLAV;KUEGLER, EDUARD;HAAG, WALTER
分类号	H01J37/34	主分类号	H01J37/34
代理机构		代理人
主权项
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