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Procédé de recyclage de silane comprenant les étapes successives suivantes : a) Injection d'un mélange silane pur/hydrogène pur (SiH4/H2) dans une chambre de réaction pour fabriquer des couches minces contenant du silicium ; b) Extraction du mélange : excès de silane non utilisé à l'étape a) / hydrogène (SiH4/H2), au moyen d'une pompe mettant en oeuvre un gaz d'alimentation ; c) Refoulement de ladite pompe à une pression proche de la pression atmosphérique, d'un mélange comprenant au moins du silane (SiH4), de l'hydrogène (H2) et une quantité non nulle dudit gaz d'alimentation ; d) Séparation du silane (SiH4) du mélange hydrogène/gaz d'alimentation issus du mélange issu de l'étape c), ledit silane obtenu comprenant moins de 100 ppm de gaz d'alimentation, de préférence moins de 10 ppm de gaz d'alimentation, de préférence moins de 1 ppm de gaz d'alimentation ; caractérisé en ce qu'au moins 50%, de préférence 70%, et de préférence encore 80% du silane (SiH4) issu de l'étape b) est réutilisé après l'étape d) pour une nouvelle étape a).
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