发明名称 VACUUM PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100937073(B1) 申请公布日期 2010.01.15
申请号 KR20090023592 申请日期 2009.03.19
申请人 发明人
分类号 B65G49/00;G02F1/13;B01J3/00;B01J3/02;B65G49/06;H01L21/00;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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