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经营范围
发明名称
VACUUM PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100937073(B1)
申请公布日期
2010.01.15
申请号
KR20090023592
申请日期
2009.03.19
申请人
发明人
分类号
B65G49/00;G02F1/13;B01J3/00;B01J3/02;B65G49/06;H01L21/00;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
B65G49/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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