| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von Siliciumwafern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10147761(B4) |
申请公布日期 |
2010.01.14 |
| 申请号 |
DE20011047761 |
申请日期 |
2001.09.27 |
| 申请人 |
SHARP K.K. |
发明人 |
KAJIMOTO, KIMIHIKO;WAKUDA, JUNZOU |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B25/00;B24B37/00;B24B37/04;C30B33/00;H01L31/04 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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