Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung,申请号DE200460024366T-传众专利搜索

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发明名称	Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE602004024366(D1)	申请公布日期	2010.01.14
申请号	DE200460024366T	申请日期	2004.12.16
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	VAN DIJSSELDONK, ANTONIUS JOHANNES JOSEPHUS;DIERICHS, MARCEL MATHIJS THEODORE MARIE;VOORMA, HARM-JAN
分类号	G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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