Strahlpumpe sowie Verfahren zu deren Betrieb

摘要

Die Strahlpumpe 2 ist Teil eines Systems 1 zur Erzeugung eines Ultrahochvakuums HV. Sie umfasst wenigstens eine von einem ionischen Fluid (F) mit hoher Geschwindigkeit durchströmte Pumpenkammer 11. Die Kammer 11 weist für das Fluid (F) einen in einer Düse mit einer Düsenöffnung 3a endenden ersten Fluid-Zulauf 3 und einen Fluid-Ablauf 5 auf. Ein zweiter Zulauf 4 der Pumpenkammer 11 ist mit einer zu evakuierenden Hochvakuumkammer 10 verbunden. Aus dieser Hochvakuumkammer 10 ist über den zweiten Zulauf 4 Gas mittels des strömenden Fluid-Strahls zu saugen, mit dem das Gas aus der Pumpkammer 11 abzuführen ist.