| 发明名称 |
METHODE UND APPARAT ZUR ENDPUNKTBESTIMMUNG EINES PHOTOLACKENTFERNUNGSPROZESSES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60043454(D1) |
申请公布日期 |
2010.01.14 |
| 申请号 |
DE20006043454 |
申请日期 |
2000.12.19 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP. |
发明人 |
NI, TUQIANG;COLLISON, WENLI |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/66;H01J37/32;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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