发明名称 Antireflective Coating Compositions
摘要 Antireflective coating compositions and related polymers are disclosed.
申请公布号 US2010009293(A1) 申请公布日期 2010.01.14
申请号 US20080133562 申请日期 2008.07.08
申请人 YAO HUIRONG;XIANG ZHONG;SHAN JIANHUI;MULLEN SALEM;WU HENGPENG 发明人 YAO HUIRONG;XIANG ZHONG;SHAN JIANHUI;MULLEN SALEM;WU HENGPENG
分类号 G03F7/20;C08G18/71;C08G63/66;C08G69/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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