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发明名称 WAFER DEFECT INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JP2010008392(A) 申请公布日期 2010.01.14
申请号 JP20080192829 申请日期 2008.06.27
申请人 NIPPON ELECTRO SENSARI DEVICE KK 发明人 NAKAMURA MANABU
分类号 G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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