控制狭缝门密封压力的方法和设备

摘要

本发明提供用于密封两个基板处理室之间的一狭缝阀通道的装置及方法。一体是容纳一被配置成延伸及缩回以阻塞或开启该通道的密封构件，其中该体具有两个开口及其之间的一通道，这些两个开口对准这些处理室的这些壁中的开口。该密封构件包括在一面上覆盖一开口的一密封件，及在另一面上支撑另一开口的一可移动横向延伸件。该延伸件被致动以接触该主体的壁，提供一支撑或密封力至在该密封构件的另一面上的该密封件。该密封力可通过根据这些处理室中的压力条件以改变作用至该密封构件的该气体压力来调整。

主权项

1.一种狭缝阀组件，其包括：狭缝阀体，其包括第一壁及第二壁；及布置于该狭缝阀体内的狭缝阀门，该狭缝阀门包括：朝向该第一壁的密封表面；实质上平行于朝向该第二壁的该密封表面的支撑表面，其中该支撑表面配置成自该密封表面向外延伸；及供气装置，其配置成用以改变作用在该密封表面上的密封力。