| 发明名称 | 300mm立式氧化炉净化冷却系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉净化冷却系统，其特征在于：设有倒U字形气道，该气道由相互连通的圆筒形横向气道(1)和扁平形左、右侧气道(2、3)组成，在横向气道内设有循环风机(1.1)，该气道上还设有空气补给阀(1.2)和氮气进气管(1.3)；另外还设有微环境出气管(4)；在左侧气道的内侧设有热交换器(2.1)，在右侧气道的内侧设有化学过滤器(3.1)和超高效过滤器(3.2)以及静电离子消除器(3.3)，所述右侧气道和左侧气道通过两侧气道间的工艺空间(5)相互连通。本实用新型适用于立式氧化炉的微环境的净化冷却，结构完善，控制灵活，净化、冷却效果好。 | ||
| 申请公布号 | CN201382678Y | 申请公布日期 | 2010.01.13 |
| 申请号 | CN200820234110.4 | 申请日期 | 2008.12.31 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 钟华;张豹;王喆;林松;赛义德·赛迪 |
| 分类号 | F27B1/24(2006.01)I;F27D17/00(2006.01)I | 主分类号 | F27B1/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1、一种300mm立式氧化炉净化冷却系统，其特征在于：设有倒U字形气道，该气道由相互连通的圆筒形横向气道(1)和扁平形左、右侧气道(2、3)组成，在横向气道内设有循环风机(1.1)，该气道上还设有空气补给阀(1.2)和氮气进气管(1.3)；另外还设有微环境出气管(4)；在左侧气道的内侧设有热交换器(2.1)，在右侧气道的内侧设有化学过滤器(3.1)和超高效过滤器(3.2)以及静电离子消除器(3.3)，所述右侧气道和左侧气道通过两侧气道间的工艺空间(5)相互连通。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||