用于接触检验对象的装置及方法

摘要

本发明涉及定位基底(140)以及为了用具有光轴或相应设备的检验装置检验而接触检验对象(301)的方法。从而，基底被放置在支撑台(130)上。相对于光轴定位基底。接触单元(150)也相对于光轴被定位，其中接触单元的定位与基底的定位操作无关。因此可以实现基底上检验对象的灵活接触。

主权项

1.一种用于接触位于基底上的电子设备的装置，包括：位于基底和具有光轴的光学检验设备之间的接触单元，所述接触单元包括具有第一尺寸的框架以及用于在垂直于所述光轴的方向上相对于所述基底和所述光学检验设备移动所述框架的电机，其中所述第一尺寸为所述基底的长度的一半或者更小。