300mm立式氧化炉温度场控制系统

摘要

本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉温度场控制系统，设有上位机、可编程控制器PLC、固态继电器组、热电偶组和加热器；所述加热器为电热炉丝，螺旋缠绕，绝缘固定在炉内壁的内侧；所述固态继电器组，为5个固态继电器，其一端分别与炉体外的5个炉丝引线连接，另一端与电源连接；所述热电偶组为两组，一组为分布热电偶，另一组为楔形热电偶，每组为5个，设置在炉体上；分布热电偶和楔形热电偶的输出端均与所述可编程控制器PLC信号连接，PLC与上位机信号连接，PLC还与所述固态继电器组中每个固态继电器控制连接。本实用新型适用于立式氧化炉的炉内温度控制，结构完善，控制温度效果好，能保证加工质量。

主权项

1、一种300mm立式氧化炉温度场控制系统，其特征在于：设有上位机(6)、可编程控制器PLC(7)、固态继电器组(2)、热电偶组(5、3)和加热器(5.1)；所述加热器为电热炉丝，螺旋缠绕，绝缘固定在炉内壁的内侧；所述固态继电器组，为5个固态继电器，其一端分别与炉体外的5个炉丝引线(4)连接，另一端与电源连接；所述热电偶组为两组，一组为分布热电偶(5)，另一组为楔形热电偶(3)，每组为5个，分别对应炉内5个温度区，分两列纵向均匀间隔设置在炉体(1)上，分布热电偶靠近石英舟，楔形热电偶靠近炉丝加热器；分布热电偶和楔形热电偶的输出端均与所述可编程控制器PLC(7)信号连接，PLC与上位机(6)信号连接，PLC还与所述固态继电器组中每个固态继电器控制连接。