准一维纳米材料场效应管电容电导同时检测生物传感器

摘要

本发明属于微机械系统和生物纳米传感技术领域的一种基于准一维纳米材料场效应管电容电导敏感特性的准一维纳米材料场效应管电容电导同时检测生物传感器。主要由上硅片上的绝缘层及其上的金属电极、准一维纳米材料、凹形槽及槽底生物修饰层；下硅片上的金属栅极；以及金属栅极与凹形槽形成的微流通道构成。利用准一维纳米材料场效应管，并进行生物修饰，利用抗原抗体反应来影响栅极电场，从而改变准一维纳米材料沟道电导及场效应管电容，实现高灵敏度、快速、准确的生物分子或病毒检测技术；利用MEMS技术和背面硅基片生物修饰技术相结合，加工简单，适合大批量生产，易于集成化，而且易于推广应用。

主权项

1.一种基于准一维纳米材料场效应管电容电导敏感特性的准一维纳米材料场效应管电容电导同时检测生物传感器，其特征在于：所述的准一维纳米材料场效应管电容电导同时检测生物传感器，主要由上、下两个硅片组成，包括了绝缘层、绝缘层上的金属电极、准一维纳米材料沟道、凹形槽、槽底生物修饰层、金属栅极、以及金属栅极与凹形槽形成的微流通道；用于在微流通道中加入含有被检测目标生物分子或病毒的液体，生物修饰层中的受体分子便会与被检测目标生物分子或病毒发生特异性反应；由于特异性反应影响准一维纳米材料场效应管的栅极电场，从而影响准一维纳米材料沟道电导和准一维纳米材料场效应管电容；通过检测电导变化和电容变化，从而实现生物分子或病毒的检测。