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发明名称
摘要
申请公布号 JP4398934(B2) 申请公布日期 2010.01.13
申请号 JP20050304884 申请日期 2005.10.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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