用于热处理支撑塔的可卸式边缘环

摘要

本发明公开一种边缘环(152)以被支撑在炉管(160)内的垂直塔(140)上的晶圆(30)的批式热处理。边缘环具有大约重迭晶圆周围的宽度，且可卸地在晶圆之间被等间隔地可卸地支撑在该塔上，以减少热边缘效应。所述边缘环可具有内或外凹部以扣住在支撑晶圆塔脚件(142、144、146)的指部上或其附近的结构，或被形成在边缘环侧面上的一个或多个台阶可以滑动且随后落在与支撑指部关联的锁扣突脊下方。较佳者，该塔与所述边缘环及邻近热区的炉管的其它其它构件(168、180)是由硅所组成。

主权项

1.一种塔组件，其包含一塔，该塔包括两个基座与固定至所述基座的多个脚件，所述脚件用以可卸地且直接地支撑在一垂直的平行配置中的多个晶圆以及用以可卸地且直接地支撑位在相邻晶圆之间且径向向外延伸超过所述晶圆直径的多个边缘环。