蚀刻设备

摘要

本实用新型公开了一种蚀刻设备，主要是于一蚀刻室内设有运送基板的送料导轮，以及一喷洒统，该喷洒统包含有多个喷源，喷源平均设置于蚀刻室上方，喷源为具有多个微小孔洞的喷嘴，喷源接受一接设于蚀刻室外部的药液工作槽供给药液。喷源以超高速喷洒出雾状药液，使蚀刻室弥漫雾状药液，当基板通过蚀刻室便能均匀的沾附药液于表面，达到蚀刻的目的。

主权项

1.一种蚀刻设备，其特征在于，该设备包含： 一蚀刻室； 一送料导轮，用以承载一基板，使该基板可通过该蚀刻室； 一喷雾统，其具有一接设在该蚀刻室外部的药液工作槽，以及与该药液工作槽以管路相连的多个喷源，喷源是平均设置于该蚀刻室上方并对应于送料导轮； 该药液工作槽以高压打入药液至所述喷源，所述喷源以高速喷出雾状的药液，使所述蚀刻室弥漫雾状药液。