发明名称 | 300mm立式氧化炉保温桶 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉保温桶,其特征在于:设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4),所述支撑杆为数个,垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间,所述石英片为多片,横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上;在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形;中间石英片为圆片形,并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1),上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。本实用新型适用于立式氧化炉的石英舟的支撑和保温,结构完善,保温效果好,洁净度高,能保证加工质量。 | ||
申请公布号 | CN201382699Y | 申请公布日期 | 2010.01.13 |
申请号 | CN200820234107.2 | 申请日期 | 2008.12.31 |
申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 |
分类号 | F27D5/00(2006.01)I | 主分类号 | F27D5/00(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 1、一种300mm立式氧化炉保温桶,其特征在于:设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4),所述支撑杆为数个,垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间,所述石英片为多片,横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上;在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。 | ||
地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |