一种液晶空间光调制器特性参数的高精度测试装置

摘要

一种液晶空间光调制器特性参数的高精度测试装置，它涉及光电测试技术领域。它解决了现有液晶空间光调制器特性参数测量方法中工频信号和低频噪声的干扰使激光光源产生波动导致测量精度低的问题。系统输入的激光光束先后经声光调制器和起偏器后由分光棱镜透射获得透射光，透射光经液晶空间光调制器反射回分光棱镜，经检偏器、透镜、光阑后入射至光电二极管的光输入端，光电二极管的电信号输出端与锁相放大器的第一信号输入端连接，锁相放大器的信号输出端与计算机的第一信号输入端连接，调制波发生器的第一信号输出端和第二信号输出端分别与声光调制器的信号输入端和锁相放大器的第二信号输入端连接。本实用新型适用于测量液晶器件特性参数的过程。

主权项

1、一种液晶空间光调制器特性参数的高精度测试装置，它包括起偏器(3)、分光棱镜(4)、液晶空间光调制器(5)、检偏器(6)、透镜(7)、光阑(8)、光电二极管(9)和计算机(12)，其特征是：一种液晶空间光调制器特性参数的高精度测试装置还包括声光调制器(2)、锁相放大器(10)和调制波发生器(11)；系统输入的激光光束经声光调制器(2)调制后入射至起偏器(3)，经起偏器(3)偏振后入射至分光棱镜(4)，经分光棱镜(4)透射后得到透射光，所述透射光入射至液晶空间光调制器(5)的光输入端，经液晶空间光调制器(5)反射后沿透射光光路反向入射至分光棱镜(4)，经分光棱镜(4)反射至检偏器(6)，经检偏器(6)偏振后入射至透镜(7)，并经透镜(7)聚焦至光阑(8)，经所述光阑(8)滤波后入射至光电二极管(9)的光输入端，所述光电二极管(9)的电信号输出端与锁相放大器(10)的第一信号输入端连接，所述锁相放大器(10)的信号输出端与计算机(12)的第一信号输入端连接；调制波发生器(11)的第一信号输出端和第二信号输出端分别与声光调制器(2)的信号输入端与锁相放大器(10)的第二信号输入端连接，液晶空间光调制器(5)的控制信号输入端与计算机(12)的控制信号输出端连接。