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经营范围
发明名称
ATOMIC LAYER DEPOSITION APPARATUS HAVING PALASMA GENERATING PORTION
摘要
申请公布号
KR100936694(B1)
申请公布日期
2010.01.13
申请号
KR20070139185
申请日期
2007.12.27
申请人
发明人
分类号
C23C16/50;C23C16/00
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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