电容型动态量传感器

摘要

在金属电极中形成凹槽或孔的图形，所述金属电极在电容型动态量传感器中布置在和振动元件相关的上侧和下侧。因此，即便使用单一导电材料例如Al制作电极时，也可以避免在该电极表面产生小丘，并且电极的膜脱落的危险性降低。此外，也可以减少制造成本。

主权项

1.一种电容型动态量传感器，用于根据由于通过半导体工艺制造的结构的移动所导致的电容的变化来探测物理动态量，该电容型动态量传感器包括：包括振动元件的半导体衬底，该振动元件具有横梁和由该横梁支撑的并且能够因为外部施加的动态量而移动的重物；与半导体衬底的第一表面的一部分接合的上衬底，该上衬底具有层叠在其上从而被布置成在面对所述重物的位置中有微隙的第一固定电极，该第一固定电极具有在第一固定电极的相对主表面之间延伸的多个通孔；以及与半导体衬底的第二表面的一部分接合的下衬底，该下衬底具有层叠在其上从而被布置成在面对所述重物的位置中有微隙的第二固定电极，该第二固定电极具有在第二固定电极的相对主表面之间延伸的多个通孔；其中该第一固定电极和第二固定电极的每一个的多个通孔阻止在该第一固定电极和第二固定电极的表面上产生小丘。