发明名称 |
除尘装置及除尘方法 |
摘要 |
本发明涉及一种除尘装置及除尘方法,依据本发明所提供的除尘装置包含:用于支持作业物的支座;可以靠近/远离所述支座的支架移送部;结合于所述支架移送部的除尘支架,该除尘支架上形成喷射工作流体的喷嘴和在所述支架移送部靠近所述支座的状态下引导由所述喷嘴供应的工作流体的流向的流体引导部。由此,使用相对少的工作流体提高除尘效率。 |
申请公布号 |
CN100579671C |
申请公布日期 |
2010.01.13 |
申请号 |
CN200610159819.8 |
申请日期 |
2006.09.28 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
金德谦;李峻泳;金重铉 |
分类号 |
B08B5/02(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I |
主分类号 |
B08B5/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 |
代理人 |
韩明星;安宇宏 |
主权项 |
1、一种除尘装置,其特征在于包含:用于支持作业物的支座;可以靠近/远离所述支座的支架移送部;结合于所述支架移送部的除尘支架,该除尘支架上形成喷射工作流体的喷嘴和在所述支架移送部靠近所述支座的状态下引导由所述喷嘴供应的工作流体的流向的流体引导部,所述流体引导部对应于四角形作业物的形状,使板面的边缘部分呈“<img file="C2006101598190002C1.GIF" wi="44" he="30" />”字型,并使“<img file="C2006101598190002C2.GIF" wi="45" he="29" />”字型内部的板面凹陷。 |
地址 |
韩国京畿道水原市灵通区梅滩3洞416 |