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发明名称
QUARTZ MEMBER SURFACE TREATMENT METHOD, PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
KR100936550(B1)
申请公布日期
2010.01.12
申请号
KR20070075849
申请日期
2007.07.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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