原子层沉积腔室及其部件

摘要

本创作系关于一种原子层沉积室，其包括气体分配器，该气体分配器包括具有在气体入口和气体出口间之圆锥形通路的中心覆盖。气体分配器亦具有顶板，其包括连接之第一与第二圆锥形孔。第一圆锥形孔从中心覆盖的气体出口接收处理气体。第二圆锥形孔从第一圆锥形孔向外径向延伸。该气体分配器亦具有坐落于室侧壁上的周边凸部。

主权项

一种用于一原子层沉积室之排气遮罩组件，该组件包括：(a)一内部遮罩，其包括一具有一周边之闭合矩形带与一垂直延伸出该矩形带之周边的平坦框架；(b)一穴式(pocket)遮罩，其包括(i)一具有一顶端之管状外壳、一与该内部遮罩之矩形带匹配的内部矩形切块及一匹配到一外部遮罩上之外部圆形切块，及(ii)一覆盖该管状外壳之顶端的盖；及(c)一外部遮罩，其包括(i)彼此结合的第一和第二圆柱体，该第一圆柱体尺寸大于该第二圆柱体，及(ii)一平坦构件，附着至该第二圆柱体且垂直延伸出该第二圆柱体。