用于湿式制程的基板用输送载板

摘要

本创作系一种用于湿式制程的基板用输送载板，其包含一板体，该板体中形成至少一基板定位孔，所述基板定位孔周边孔壁上形成复数个止挡凸部，该数个止挡凸部顶缘至板体顶面间具有一间距，用以提供基板置入基板定位孔中，并为该复数个止挡凸部支撑定位，藉此，利用该输送载板作为基板进行蚀刻、清洗等湿式制程输送时的载具，使基板藉由该输送载板于输送轮上移动，而避免基板与输送轮直接接触磨擦而受损之情事。

主权项

一种用于湿式制程的基板用输送载板，其包含一板体，该板体中形成至少一基板定位孔，于所述基板定位孔周边孔壁上形成复数个止挡凸部，该数个止挡凸部顶缘至板体顶面间具有一间距，提供基板置入基板定位孔中，并为该复数个止挡凸部支撑定位。