摘要 |
L'invention concerne un dispositif de caractérisation optique d'un objet (75) de très petites dimensions, comprenant une source lumineuse large bande ; un séparateur de polarisations (67) recevant la lumière de la source lumineuse et fournissant un premier faisceau de direction achromatique (69) d'une première polarisation et un second faisceau (71) d'une deuxième polarisation, perpendiculaire à la première polarisation ; un moyen de focalisation (73) des premier et second faisceaux sur un support (77) portant l'objet, l'objet à caractériser étant disposé au point de focalisation du premier faisceau ; un moyen d'interférence entre les faisceaux ayant et n'ayant pas interagi avec l'objet, d'où il résulte que l'on peut déterminer la constante diélectrique de l'objet ; et un moyen compensateur de déphasage (81) placé avant le moyen d'interférence.
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