发明名称 Interferometer
摘要
申请公布号 DE102007029822(B4) 申请公布日期 2010.01.07
申请号 DE20071029822 申请日期 2007.06.28
申请人 SIEMENS AG 发明人 FUERST, JENS;TEDDE, SANDRO FRANCESCO;ZAUS, EDGAR
分类号 G01B9/02;G01J1/42 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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