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发明名称 Mechanischer Scanner
摘要
申请公布号 DE112007002611(T5) 申请公布日期 2010.01.07
申请号 DE200711002611T 申请日期 2007.09.27
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 SMICK, THEODORE H.;HORNER, RONALD;JEN, CAUSON KO-CHUAN
分类号 H01J37/20;F16M11/04;F16M11/18;H01J37/317 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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