发明名称 Method for microfabricating structures using silicon-on-insulator material
摘要
申请公布号 AU2009248425(A1) 申请公布日期 2010.01.07
申请号 AU20090248425 申请日期 2009.12.10
申请人 THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. 发明人 WILLIAM D. SAWYER;JEFFREY T. BORENSTEIN
分类号 B81C3/00;H01L21/46 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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