Chuck zur Aufnahme und Halterung eines Testsubstrats und eines Kalibriersubstrats

摘要

Die Erfindung betrifft einen Chuck zur Aufnahme und Halterung eines Testsubstrats 10 mit einer Vorrichtung zur Aufnahme und Halterung eines Kalibriersubstrats 8. Der Chuck umfasst eine erste Aufnahmefläche 3 zur Aufnahme eines Testsubstrats 10 und eine zweite, zur ersten seitlich versetzte Aufnahmefläche 5 zur Aufnahme eines Kalibriersubstrats 8, wobei das Kalibriersubstrat 8 planare Kalibrierstandards 9 zur Kalibrierung einer Messeinheit 44 eines Probers aufweist und unterhalb des Kalibriersubstrats 8 zumindest im Bereich der Kalibrierstandards 9 dielektrisches Material oder Luft angeordnet ist. Um die tatsächlichen thermischen Verhältnisse am Testsubstrat 10 und insbesondere auch an den bekannten sowie unbekannten Kalibrierstandards 9 und damit den thermischen Einfluss auf das elektrische Verhalten der verwendeten Kalibrierstandards 9 berücksichtigen zu können, wird vorgeschlagen, die zweite Aufnahmefläche 5 mit Mitteln zur Temperierung des Kalibriersubstrats 8 auszustatten.