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发明名称 HERSTELLUNG VON HALBLEITERVORRICHTUNGEN MIT LUFTSPALTEN FÜR ZWISCHENVERBINDUNGS-STRUKTUREN MIT ULTRA-NIEDRIGEN KAPAZITÄTEN
摘要
申请公布号 DE60140624(D1) 申请公布日期 2010.01.07
申请号 DE20016040624 申请日期 2001.08.31
申请人 GEORGIA TECH RESEARCH CORP. 发明人 KOHL, PAUL ALBERT;ALLEN, SUE ANN;HENDERSON, CLIFFORD LEE;KELLEHER, HOLLIE ANN;BHUSARI, DHANANJAY M.
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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