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发明名称 Workpiece stage of a resist curing device
摘要
申请公布号 EP1283446(B1) 申请公布日期 2010.01.06
申请号 EP20020014233 申请日期 2002.06.26
申请人 USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 FUJIWARA, YOSHINORI;KENJO, YASUHIKO;WATANABE, YOSHIHIKO
分类号 H01L21/027;H05B3/74;G03F7/40;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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