扫描蒸镀制膜的方法及设备

摘要

本发明属于一种扫描蒸镀制膜的方法及设备，该方法设置使工作状态下的电子枪摆动或移动的装置，使电子枪在移动状态下进行喷镀。该设备采用电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀。本发明的方法使电子枪在移动状态下进行喷镀，镀膜均匀，方法简便可行。该设备使电子枪在移动状态下进行喷镀，具有镀膜均匀，速度快，价格低，质量好，可大幅度提高基板光电转换率，并大幅延长其使用寿命。

主权项

1、一种扫描蒸镀制膜的方法，其特征在于：设置使工作状态下的电子枪摆动或移动的装置，使电子枪在移动状态下进行喷镀。