光学镀膜装置

摘要

一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、转动轴、基板承载架及蒸镀源。所述基板承载架与所述转动轴连接并设置在所述真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设置在所述真空镀膜室的底部，一个滑槽环绕所述真空镀膜室内壁设置，基板承载架外边缘延伸一环形凸缘，该环形凸缘伸入所述滑槽内。本发明所提供的光学镀膜装置，由于基板承载架外边缘延伸出一环形凸缘，并伸入真空镀膜室内壁上的凹槽内，隔离了基板承载架正反面的空间，所以有效的防止镀膜过程中，镀材污染基板承载架背面镜片表面的情况发生，从而改善镜片的镀膜品质。

主权项

1.一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、转动轴、基板承载架及蒸镀源，所述基板承载架与所述转动轴连接并设置在所述真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设置在所述真空镀膜室的底部，其特征在于，一个滑槽环绕所述真空镀膜室内壁设置，基板承载架外边缘延伸一环形凸缘，该环形凸缘伸入所述滑槽内。