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发明名称 Support apparatus having movable support unit for preventing heat-transformation
摘要
申请公布号 KR100935180(B1) 申请公布日期 2010.01.06
申请号 KR20080060908 申请日期 2008.06.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/677 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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