SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND METHOD FOR USING OZONATED WATER, AND APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING THEREOF,申请号KR20070127205-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND METHOD FOR USING OZONATED WATER, AND APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING THEREOF
摘要
申请公布号	KR100934915(B1)	申请公布日期	2010.01.06
申请号	KR20070127205	申请日期	2007.12.07
申请人		发明人
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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