发明名称 光电变换装置及其制造方法
摘要 本发明提供一种能够以低成本获得更高性能的光电变换装置及其制造方法。具备被层叠的至少二层光电变换层、和介于所述二层光电变换层之间且对该二层光电变换层进行电连接及光学连接的中间层(93)的光电变换装置(90),在所述中间层(93)表面上具有等离子体抗性保护层(93A)。
申请公布号 CN101622719A 申请公布日期 2010.01.06
申请号 CN200880006731.X 申请日期 2008.02.08
申请人 三菱重工业株式会社 发明人 小林靖之;坂井智嗣;山口贤刚;浅原裕司;吴屋真之
分类号 H01L31/04(2006.01)I 主分类号 H01L31/04(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 高培培;车 文
主权项 1.一种光电变换装置,具备:被层叠的至少二层光电变换层、和介于所述二层光电变换层之间且对该二层光电变换层进行电连接及光学连接的中间层,所述光电变换装置中,在所述中间层的表面上具有等离子体抗性保护层。
地址 日本东京都