由增强抗辐射性的合成石英玻璃制备的光学部件及制备该部件的方法

摘要

提供用于投影物镜的石英玻璃光学部件，该投影物镜用于在低于250nm的操作波长下的浸没式光刻，将该部件优化，以便用于线性偏振的UV激光辐射，特别是关于由各向异性的密度变化引起的压实和双折射，按照本发明建议，石英玻璃应包含1wtppm-60wtppm的羟基和化学键合的氮，且石英玻璃的平均氢含量应该为5×10¹⁵分子/cm³-1×10¹⁷分子/cm³。

主权项

1.一种合成石英玻璃的光学部件，所述光学部件用于在低于250nm的操作波长下的浸没式光刻，其特征在于所述石英玻璃包含1wtppm-60wtppm的羟基和化学键合的氮，且所述石英玻璃的平均氢含量为5×1015分子/cm3-1×1017分子/cm3。